　　工作中，真空系统（机械泵、罗茨泵和扩散泵组合）将真空固化炉内抽至1.0×10-1Pa以下，加热系统将烘干后的次组件加热至400℃，升温过程中工件放气状态下，炉内的真空度维持在≤2Pa状态下，以除去石墨涂层中的有机粘结剂。等待加热完成后，向炉体中回填氩气冷却。当次组件温度≤100℃时，可进行出炉操作。

　　加热区域长宽高分别为：1060*420*420mm，由其内表面安装的“S”型钼加热带提供热量。有效加热区域内分6个独立加热区，每个区域独立加热，增强炉内温度均匀性，每个热体区内加热体（钼加热带）两端均有2根加热水冷电极，加热电极与电极座安装形成静密封装置，确保无泄漏。在加热体内部存放装有工件的料舟，可一次性装入8个料舟，料舟尺寸为505*170*170mm。

性能指标

　　额定温度：600℃。

　　加热区：6区

　　炉温均匀性：±5℃

　　极限压力：真空固化炉炉体空载时，极限压力要求4.0×10-4~9.0×10-4Pa，压升率≤0.67Pa/h。

　　工作压力：产品加工时工作压力要求≤1×10-1Pa。

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